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Super X-Ray 面密度测量仪

产品详情


应用场合

  • 可适应超过1600mm幅宽的测量,支持超高速扫描,可检测削薄区、划痕、陶瓷边等微小特征。


测量原理

  • 当射线照射被测物时,射线将会被极片吸收、反射、散射,从而导致透射被测物后的射线强度相对入射射线强度有一定的衰减,其衰减比例与被测物的面密度或厚度成负指数关系。


设备亮点

细节轮廓与微小特征测量:毫米级空间分辨率面密度轮廓高速、  高精度测量  (60米/分)

  1. 超宽幅涂布测量:可适应超过1600mm幅宽的测量;

  2. 超高速涂布扫描:扫描速度0-60米/分可调;

  3. 创新固态半导体探测器:大成自主研发的创新极片测量固态半导体射线探测器,微秒级响应性,响应速度较传统方案提升10倍;

  4. 高速、高精度直线电机驱动: 扫描速度较传统方案提高3-4倍;

  5. 自研高速测量电路:采样频率可达200kHz,提升涂布闭环的效率与准确性;

  6. 削薄容量损失计算:Super X-Ray光斑宽度最窄可达1mm,可以准确测量极片涂覆区“边缘削薄轮廓、划痕”等细节特征,削薄容量损失最大可能超过2%。



软件界面

测量系统主界面可自定义显示


削薄区判定
容量判定
划痕判定


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